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平面栅网射频离子源、ICP等离子体源、CCP等离子体源、空心阴极等离子体源、射频电源
QMS1-6
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QMS1-6
型号:
MS1-6 是一款紧凑型高性能四极杆质谱仪,覆盖 1-100 amu 范围内气体组分的快速定性与定量分析,适用于科研院所、真空系统泄漏检测、半导体及材料研究领域,实现实时监测、过程控制及残余气体分析。
设备采用稳定可靠的四极杆质量分析技术,配合高灵敏电子倍增检测器,兼具高灵敏度、快速响应及宽动态范围,可满足从高真空到大气压力采样分析需求。
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