一、产品概述
QMS1-6 是一款紧凑型高性能四极杆质谱仪，覆盖 1-100 amu 范围内气体组分的快速定性与定量分析，适用于科研院所、真空系统泄漏检测、半导体及材料研究领域，实现实时监测、过程控制及残余气体分析。
设备采用稳定可靠的四极杆质量分析技术，配合高灵敏电子倍增检测器，兼具高灵敏度、快速响应及宽动态范围，可满足从高真空到大气压力采样分析需求。
二、核心技术优势
1. 宽质量范围 (1-100 amu)，覆盖绝大多数常见残余气体检测需求。
2. 高灵敏度检测：配备低噪声电子倍增器，灵敏度优于 1 × 10⁻¹³ A/Torr。
3. 快速响应时间：可在数秒内完成完整谱图扫描，实现实时过程监测。
4. 结构紧凑易集成：支持安装于真空系统法兰接口，便于在线监测。
5. 稳定性与重复性好：采用温控电路和精密电子控制，长期漂移小。
6. 丰富的软件支持：支持自动扫描、实时监测、峰值分析及数据导出。
三、典型应用场景
• 真空系统残余气体分析（RGA）
• 半导体工艺过程气氛监测
• 氢氘氚气体检测与纯度监测
• 材料脱气及热脱附分析（TDS）
• 环境及大气微量气体检测
• 科研院所气体反应动力学研究
四、服务与支持
• 方案定制：根据用户实验需求和系统接口匹配提供选型和接口定制。
• 上门安装调试与培训：保障用户快速掌握设备操作与日常维护。
• 远程及现场技术支持：快速响应用户应用及故障问题。
• 定期维护与校准服务：保障设备长期稳定运行，符合科研检测要求。
• 软件免费升级：持续更新算法与功能，满足研究与工业检测新需求.
五、技术参数
项目 参数
质量范围 1 - 100 amu
检测下限 ≤ 1 × 10⁻¹³ A/Torr (Ar)
分辨率 M/ΔM > 60
离子源类型 电子轰击离子源（可选热离子化）
检测器 法拉第杯 + 电子倍增器双模式
采样压力 < 1 × 10⁻⁴ Pa (直接测量)
接口法兰 DN35CF (可定制 KF40/KF25)
通讯接口 USB / RS232 / 以太网 (可选)
电源 90-240 V AC，50/60 Hz
功耗 ≤ 80 W
重量 ≤ 8 kg
软件功能 实时监测、质谱图扫描、定量分析、自动生成报告