RGA5100系列是一款高灵敏且性能可靠的残余仪，可以帮助确定真空室内残留气体的身份和浓度。

RGA5100A 是专为小质量数气体分析打造的高分辨率RGA，轻松应对复杂气体组分的分离和检测。

产品特点

RGA5100A

• 采用分子泵进样技术和内含离子光学透镜的高传输率的电离源，灵敏度大幅提升，实现痕量气体的高精度分析。
• 特制超高频率四极杆质量分析器，经过高阶场优化，提供比业界一般RGA更高的质量分辨率和离子传输效率。
• 在半导体工艺监控中，我们的 RGA 能够精确检测氢气、氦气等关键气体，助力工艺优化和良率提升。
• 核物理研究的理想选择，高分辨率和高灵敏度满足苛刻的同位素分析需求。
• 更快速、更精准、更稳定的气体分析解决方案，为您的科研和生产保驾护航 

RGA5100B 搭载微型分子泵工作站及其他使用 RGA 测量气体所需的一切配件，组合成便携的残余气体分析系统，满足客户高气压或变化气压工况下的检测需求，为客户提供更便捷、更经济
的解决方案。

RGA5100B

• 专门设计的 1-30 amu 扫描范围。
• 法拉第杯探测器，可选电子倍增器提升灵敏度。
• 内置皮拉尼压力表可防止RGA 在高气压下打开。
• 内置热阴极离子计，用于快速测量高真空压力。
• 微型涡轮分子泵站，单开关高真空操作。
• 手动可变泄漏阀可对 1000 Torr 至高真空的腔室进行RGA取样。
• 专用的 LightGas Analyst软件，具备拟合、分压计算和物质库功能。

检测实例

使用法拉第杯探测器时的性能表现。电子能量 70.0 eV
离子能量8.0 eV，驻留时间128 ms.

系统参数